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交付案例

英鉑助力歌爾股份搭建失效分析利器-激光鐳射探針臺返回列表

裝機產(chǎn)品:YB800-A激光鐳射探針臺

PD激光器系統(tǒng)

產(chǎn)品介紹:

• 該激光器具備激光打標和激光切割功能

• 波長范圍可支持:1064nm、532nm、355nm或266nm

• 脈沖激光激發(fā)頻率:單次射擊,1Hz連續(xù),或5Hz 100次射擊激發(fā)功率0.8mj,

• 支持切割mark尺寸:X: 0 to 2.5mm  、Y:  0  to 2.5mm

• 具備可見光標記功能,且內置CCD影像觀察系統(tǒng),無需額外配比CCD影像

• 冷卻方式:風冷

YB800-A手動探針臺

產(chǎn)品概要:

YB800-A是200mm手動探針臺系統(tǒng),可以提供準確可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)測量。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

1、單機多應用設計

• 適用于多種晶圓/集成電路/功率器件/光學材料量測應用,如射頻和 DC、IV/CV 、高功率等測試晶圓級可靠性、電學特性曲線

2、具備工效學設計

• XY 軸微調設計/Y 軸快速導入導出/載物臺設計

• 堅固且可乘載多達 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作臺

• 三段式工作臺快升把手設計,接觸(contact) -架針( sepration)- 分離(loading),實現(xiàn)高可靠性、高效率性

• 具有電子安全鎖定裝置,保護樣品及探針無意外損壞

• 具備英鉑科學儀器獨有專利技術的氣浮式移動樣品臺,搭配微調千分尺

3、彈性選配與升級性

• 另有多種晶圓載物臺可做升級,亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學顯微鏡、電磁屏蔽箱/防震系統(tǒng)可搭載,以完全支援您的應用需求

4、高壓人機安全防護設計

• Platen 底部特征聚合物高壓防護設計

• Chuck 獨特安全隔離防護設計

• 采用德國 PEEK 雙層高壓防護環(huán)套設計的針桿(標準 SHV Coaxial 接口)通用keithley&keysight 高壓儀表

• 紅外感測 interlock 安全互鎖機制

產(chǎn)品應用:

該系統(tǒng)主要應用于晶圓級高頻電學特性的測試,可升級最高頻可達110G測試,滿足于8寸及以下產(chǎn)品應用。具備多模塊應用升級,如高溫,防震屏蔽,光學等。

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