產(chǎn)品介紹：

高低溫載物臺(tái)系統(tǒng)提供晶圓級(jí)承載，具備可變溫環(huán)境，可滿足測(cè)試如射頻、高壓、直流等晶圓的承載作用，可與多種機(jī)型搭配。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

• 具備氣冷式降溫凹槽式設(shè)計(jì)，具備12英寸、8英寸或定制6英寸可選尺寸，具備最小吸附樣品尺寸4*4mm

• 表面材質(zhì)可選，如鍍金或者鍍鎳，適用于不同測(cè)試應(yīng)用，可選密孔

• 真空吸附可獨(dú)立控制范圍，

•  選配陶瓷射頻載物臺(tái)

•  可選配背電極，漏電＜1pA

•  高功率最大可滿足 10KV/200A 的選配

•  滿足-60℃-300℃最大溫區(qū)