YB600-A

產(chǎn)品介紹：

YB600-A是150mm手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)，可以提供準(zhǔn)確可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)測(cè)量。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1、單機(jī)多應(yīng)用設(shè)計(jì)

•適用于多種晶圓/集成電路/功率器件/光學(xué)材料量測(cè)應(yīng)用，如射頻和 DC、IV/CV 測(cè)試晶圓級(jí)可靠性

2、具備工效學(xué)設(shè)計(jì)

•XY 軸微調(diào)設(shè)計(jì)/Y 軸快速導(dǎo)入導(dǎo)出/載物臺(tái)設(shè)計(jì)

•堅(jiān)固且可乘載多達(dá) 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作臺(tái)

•兩段式工作臺(tái)快升把手設(shè)計(jì),接觸(contact） - 分離（loading)，實(shí)現(xiàn)高可靠性、高效率性

•具備英鉑科學(xué)儀器獨(dú)有專利技術(shù)的氣浮式移動(dòng)樣品臺(tái)，搭配微調(diào)千分尺

3、彈性選配與升級(jí)性

•另有多種晶圓載物臺(tái)可做升級(jí)，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學(xué)顯微鏡、電磁屏蔽箱/防震系統(tǒng)可搭載，以完全支援您的應(yīng)用需求

4、高壓人機(jī)安全防護(hù)設(shè)計(jì)

•Platen 底部特征聚合物高壓防護(hù)設(shè)計(jì)

•Chuck 獨(dú)特安全隔離防護(hù)設(shè)計(jì)

•采用德國(guó) PEEK 雙層高壓防護(hù)環(huán)套設(shè)計(jì)的針桿（標(biāo)準(zhǔn) SHV Coaxial 接口）通用

keithley&keysight 高壓儀表

•紅外感測(cè) interlock 安全互鎖機(jī)制

產(chǎn)品應(yīng)用：

該系統(tǒng)主要應(yīng)用于晶圓級(jí)高頻電學(xué)特性的測(cè)試，可升級(jí)最高頻可達(dá)110G測(cè)試，滿足于6寸及以下產(chǎn)品應(yīng)用。具備多模塊應(yīng)用升級(jí)，如高溫，防震屏蔽，光學(xué)等。

Keithely 4200A-SCS

產(chǎn)品介紹：

4200A-SCS是一種可以量身定制、全面集成的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V特性。作為性能較高的參數(shù)分析儀，4200A-SCS加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開發(fā)速度。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1、隨時(shí)可以投入使用、可以修改的應(yīng)用測(cè)試、項(xiàng)目和器件，縮短測(cè)試開發(fā)時(shí)間

2、內(nèi)置測(cè)量視頻的儀器，測(cè)試視頻由全球應(yīng)用工程師提供，分為4種語言，縮短學(xué)習(xí)周期

3、pin to pad接觸檢查，確保測(cè)量可靠

4、多種測(cè)量功能

5、數(shù)據(jù)顯示、分析和代數(shù)運(yùn)算功能

6、專家視頻，降低特性分析復(fù)雜度

7、大量隨時(shí)可以使用的應(yīng)用測(cè)試可供選擇，通過Clarius庫(kù)中裝備的450多項(xiàng)應(yīng)用測(cè)試，只需三步，Clarius Software就可以引導(dǎo)新用戶像專家一樣完成參數(shù)分析

8、實(shí)時(shí)結(jié)果和參數(shù)，自動(dòng)數(shù)據(jù)顯示、算法分析和實(shí)時(shí)參數(shù)提取功能，加快獲得所需信息的速度。不必?fù)?dān)心數(shù)據(jù)丟失，因?yàn)樗袣v史數(shù)據(jù)都會(huì)保存下來

9、無需示波器檢驗(yàn)脈沖測(cè)量，脈沖定時(shí)預(yù)覽模式可查看脈沖定時(shí)參數(shù)

產(chǎn)品性能：

●± 210 V/100 mA或± 210 V/1 A模塊

●100 fA測(cè)量分辨率

●選配前端放大器提供了10 aA測(cè)量分辨率

●10 mHz - 10 Hz超低頻率電容測(cè)量

●四象限操作

●2線或4線連接

C-V多頻率電容單元(CVU)

●AC阻抗測(cè)量(C-V, C-f, C-t)

●1 kHz - 10 MHz頻率范圍

●± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V差分)

脈沖式I-V超快速脈沖測(cè)量單元(PMU)

●兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖I-V源和測(cè)量通道

●200 MSa/s，5 ns采樣率

●±40 V (80 V p-p)，±800 mA

●瞬態(tài)波形捕獲模式

●任意波形發(fā)生器，支持多電平脈沖波形，10ns可編程分辨率

產(chǎn)品應(yīng)用：

MOSFET, BJT 晶體管；材料特性分析；非易失性存儲(chǔ)設(shè)備；電阻率系數(shù)和霍爾效應(yīng)測(cè)量；NBTI/PBTI；III-V 族器件；失效分析；納米器件；二極管和 pn 聯(lián)結(jié)；太陽能電池；傳感器；MEMS器件；電化學(xué)；LED和OLED。