產(chǎn)品介紹：

TS3000-SiPH是專用12寸半自動(dòng)硅光耦合系統(tǒng)設(shè)計(jì)，該系統(tǒng)配備了MPI IceFreeEnvironment™，在開放式環(huán)境下可實(shí)現(xiàn)較短的接觸距離，滿足設(shè)備的需求表征。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

• 適用于多種晶圓量測應(yīng)用，最大支持12英寸，可向下兼容8/6/4/或碎片DUT

• 模塊量測DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, RTS/SiPH

• 升級射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 支持高精度對準(zhǔn)系統(tǒng)，可選雙邊定位或單定位器，為單個(gè)或陣列提供較大靈活性

• 包括系統(tǒng)多種高清光仟選項(xiàng)，用于程序的快速對準(zhǔn)掃描

• 集成式Z軸感應(yīng)，檢測光仟與晶圓之間距離接觸

• 可選雙邊耦合光仟針臂防撞保護(hù)模組

• 支援 fA 級超低噪 IV 量測

• MPI IceFreeEnvironment™開放式環(huán)境，可支持低溫下探針或探卡的兼容

• 系統(tǒng)具備彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C，推薦硅光器件溫度為：-40℃-100℃

• 可選集成式專用測量支架集成硅光子儀器，減少系統(tǒng)占地面積

• 提供一站式解決服務(wù)方案，可客制化全自動(dòng)控制軟件

產(chǎn)品應(yīng)用：

可用于多種晶圓量測應(yīng)用，晶圓級可靠性測試、硅光耦合以及RF和mmW等多種應(yīng)用。

硅光耦合模組：

• 具備多角度調(diào)節(jié)的六維支架，移動(dòng)行程：XYZ＜20mm，移動(dòng)精度可達(dá)100nm

• 支持水平和垂直耦合系統(tǒng)，可選單光纖和FA

• 全自動(dòng)耦合軟件支持多種掃描模式，可自定義步進(jìn)、點(diǎn)動(dòng)等功能，以滿足自動(dòng)光對準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)搜光、對光等能力

• 可支持O-O 、E-O、O-E、E-E等多應(yīng)用測試方案