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交付案例

英鉑攜MPI助廣州XX半導(dǎo)體fab廠搭建全自動低頻噪聲參數(shù)系統(tǒng)返回列表

裝機產(chǎn)品:MPI TS3500-SE全自動探針臺、概倫電子9813DXC 低頻噪聲測試系統(tǒng)

MPI TS3500-SE全自動探針臺

產(chǎn)品介紹:

MPI的TS3500-SE是全自動300mm探針臺測試系統(tǒng),搭配獨特的EMI屏蔽腔體,可做高低溫測試。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

1、模塊量測- DC-IV/DC-CV/Pulsed-IV/RF/HP/1/f Noise

2、專為1/f噪聲系統(tǒng)提供屏蔽模塊,兼容是德科技4727系列和概倫電子的9813D系列儀表,以達(dá)到更短線纜和更小噪聲系數(shù)

3、溫度范圍-60°C至300°C可選

4、較強的靈活性,兼容探針座和探卡夾具測試

5、具備業(yè)內(nèi)EMI光電磁屏蔽腔體結(jié)構(gòu),靈活應(yīng)對測試應(yīng)用

6、具有特定設(shè)計的電纜接口,與功能測試儀較短的電纜距離,可實現(xiàn)更好的測量方向性

7、卡盤到工作臺面的高度,可實現(xiàn)不錯的內(nèi)部節(jié)點探測

8、系統(tǒng)具備獨特晶圓cassette裝載盒,可選配25片cassette或5片不同尺寸wafer自動裝載

9、通過在內(nèi)部集成熱系統(tǒng)的冷卻器,將系統(tǒng)占地面積降至較低

10、具備FOUP Cassette 自動開門結(jié)構(gòu),支持FOUP裝載晶圓300mm,或升級200mm

產(chǎn)品應(yīng)用:

專門為產(chǎn)品工程,故障分析,設(shè)計驗證,晶圓級可靠性以及RF和mmW應(yīng)用而設(shè)計。

概倫電子9813DXC 先進(jìn)低頻噪聲測試系統(tǒng)

產(chǎn)品介紹:

9813DXC作為單一完整的低頻噪聲測試系統(tǒng),適用于多種半導(dǎo)體器件類型在各種工作條件下(如200V高壓、10pA極低電流等)的高精度、帶寬噪聲測試,支持晶圓級噪聲測試精度和測試帶寬,最低測試噪聲電流精度低至10-27A2/Hz,可同時覆蓋30到30MO高阻抗器件和低阻抗器件測試。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

應(yīng)用范圍:

• 支持 MOSFET, SOI, FinFET, TFT, HV/LDMOS, BJT/HBT, JFET,Diode, Resistor, Packaged IC等器件類型

• 針對任意待測類型均可實現(xiàn)晶圓級高精度和寬帶寬測試

• 寬電壓、寬電流、寬阻抗測量范圍

功能:1/f噪聲測試與特性分析、RTN測試與特性分析

系統(tǒng)架構(gòu):硬件架構(gòu)全新升級,提升系統(tǒng)集成性·配置觸摸屏,直觀顯示,易于操作

產(chǎn)品應(yīng)用:

• 先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝如FinFET/FD-SOI/GaN等研發(fā)過程中的質(zhì)量和工藝評估:

• 芯片制造過程中的特定工藝品質(zhì)監(jiān)控

• 半導(dǎo)體器件和電路的低頻噪聲特性測試、噪聲數(shù)據(jù)分析

• 半導(dǎo)體器件 SPICE模型庫開發(fā)

• 高端集成電路設(shè)計和驗證

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