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交付案例

英鉑科學(xué)攜手RKD助力嘉興X達(dá)半導(dǎo)體公司搭建酸性開封系統(tǒng)返回列表

裝機(jī)產(chǎn)品:RKD酸開封機(jī)

產(chǎn)品介紹:

RKD的Elite Etch Cu是一臺可為銅線開封的化學(xué)開封機(jī),通過集成了先進(jìn)的特點(diǎn)來實(shí)現(xiàn)更高的產(chǎn)能。這臺開封機(jī)可以通過將精密分配微等分的硝酸、硫酸或混酸到樣品器件上,可開封直徑為0.8mil銅線的塑封料。

產(chǎn)品概要:

每一次微等分的酸被輸送到刻蝕腔內(nèi),由于泵產(chǎn)生的足夠大的壓力將會創(chuàng)造出非常大的湍流,可以極大的提高封裝材料的去除效率。對酸溫度的精密控制,并結(jié)合更高的分配效率使得對于銅線器件的開封不會產(chǎn)生引線或金屬化損傷。

特殊設(shè)計(jì)的酸熱交換器能夠在高達(dá)8ml每分鐘的流量內(nèi)精的確將酸溫度控制在10℃到250℃范圍內(nèi)。即使是在低溫度時,高的酸脈沖率也能獲得合理的刻蝕時間。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

1、Elite Etch Cu配置了一個酸控制器刻蝕頭,它是由優(yōu)質(zhì)碳化硅材料制造的,具有很強(qiáng)的耐酸性??涛g頭設(shè)計(jì)用于降低在開封工藝結(jié)束時殘留在刻蝕頭上殘留酸的煙化現(xiàn)象,對于操作員更加安全,并且對酸的清潔也更方便。

2、Elite Etch Cu 在瓶子容器和開封器之間的所有流體接口都采用雙重密封。瓶子容器組件和刻蝕機(jī)內(nèi)部都配置了流體傳感器,如果出現(xiàn)任何酸瓶或內(nèi)部裝置的酸泄漏,都會立即向操作員發(fā)出漏酸警 報。瓶子容器采用了通用的旋轉(zhuǎn)互聯(lián),使得酸瓶更換非常簡單,盡量避免接觸殘酸。

 

3、單獨(dú)的手持式鍵盤控制,可以在通風(fēng)廚外面 進(jìn)行控制避免酸對控制面板和電路的腐蝕。

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