產(chǎn)品介紹：

YB400探針臺(tái)系統(tǒng)，是4寸手動(dòng)晶圓級(jí)電光學(xué)測(cè)試系統(tǒng)，專為4英寸晶圓或可兼容碎片設(shè)計(jì)，可支持應(yīng)用于IV/CV、RF等多種應(yīng)用測(cè)試。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1、工效學(xué)設(shè)計(jì)

• XY 軸微調(diào)絲桿旋鈕設(shè)計(jì)，搭配 Z 軸升降功能，載物臺(tái)具備環(huán)形真空吸附范圍，具備 3 路真空開關(guān)

• U 型臺(tái)面設(shè)計(jì)，可乘載多達(dá) 6 支 DC或 4 只 RF 微定位器的工作臺(tái)

• 顯微鏡支柱安裝設(shè)計(jì)，可弧形任意旋轉(zhuǎn)以方便放取樣品

2、彈性選配與升級(jí)性

• 另有多種升級(jí)選項(xiàng)，如多應(yīng)用載物臺(tái)、DC\RF\光仟針臂、防震系統(tǒng)、暗箱等多種附件搭配以完全支援您的應(yīng)用需求

• 具備多種顯微鏡選裝、如體式、單筒、金相等

• 另有客制化可供選擇

產(chǎn)品應(yīng)用：

適用于4英寸及以下晶圓級(jí)或器件級(jí)的光電學(xué)測(cè)試、如集成電路\功率器件\光電學(xué)材料\失效分析\建模\可靠性等電性分析測(cè)試。