TS200手動探針臺

產(chǎn)品介紹：

TS200探針臺應用于半導體晶圓級、器件類電學特性，具備單手可快速拖動樣品臺，快速位移到所需位置，并且有著獨特Platen平臺設(shè)計，測試重復性顯著提高95%。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、氣浮式樣品移動系統(tǒng)

MPI獨特的氣墊載物臺設(shè)計，單手控制，為操作人員提供了很強的便利性，可實現(xiàn)快速XY導航和快速晶圓裝載，同時又不影響精確的定位功能。

2、高度調(diào)整

針座平臺具備25毫米的精細高度調(diào)節(jié)，以支持各種應用。獨特的1mm刻度可精確的顯示當前位置。

3、多種卡盤選項

手動系統(tǒng)可提供多種卡盤選項，以滿足不同的預算和應用需求?？ūP選件包括MPI的同軸、三軸、高功率chuck或各種ERS高低溫chuck，以支持高達300°C的溫度測量。

4、緊湊堅固的 Platen 平臺

緊湊而堅固的壓盤設(shè)計可容納多達10個DC或四個RF MicroPositioner，滿足各種應用需求。

5、多種光學系統(tǒng)選擇

提供多種光學器件，如單筒金相顯微鏡SZ10或MZ12之間進行選擇。

6、振動隔離平臺

手動系統(tǒng)包括減震基座，以實現(xiàn)穩(wěn)定可靠的探針與待測器件的長期接觸，從而確?？煽糠€(wěn)定的測量結(jié)果。

7、屏蔽系統(tǒng)

暗箱為超低噪聲直流測量提供EMI屏蔽和不透光的測試環(huán)境。

產(chǎn)品應用：

適用于多種晶圓量測應用，如組件特性描述和建模，晶圓級可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機電系統(tǒng) (MEMS) 和高功率 (HP)。

TS2000-SE半自動探針臺

產(chǎn)品介紹：

MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是具有創(chuàng)新功能的200mm自動化晶圓測試系統(tǒng)，其包含獨特的側(cè)面自動裝卸功能和超高屏蔽下的超低噪聲環(huán)境。

產(chǎn)品概要：

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一個高性能的微屏蔽暗箱，可為超低噪聲，低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環(huán)境

2、自動化晶圓裝載系統(tǒng)

該功能提供了非常方便的晶圓裝載，并且易于針對自動程序進行預對準，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓，針對高低溫環(huán)境下可提高測試效率

3、ERS獨特的 AC3冷卻技術(shù)

MPI旗下全系列探針臺系統(tǒng)均采用ERS的AC3冷卻技術(shù)和自我管理系統(tǒng)，可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment，可大幅減少30%至50%的空氣消耗

4、側(cè)視影像系統(tǒng)(VCE)

借助MPI8寸探針臺獨特的自動側(cè)視– VCE影像系統(tǒng)可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸，使用DC或RF等探針卡非常安全

產(chǎn)品應用：

1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分析 - 探針卡 / 節(jié)間探測

4、可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試

5、高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計的精密量測環(huán)境

7、支持飛安級低漏電值量測

8、支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C