MSA-600 激光測振儀

產(chǎn)品介紹：

MSA-600-M/V型的測量帶寬高達(dá)25MHz，適用于MEMS、MEMS麥克風(fēng)和其它微系統(tǒng)的振動(dòng)測試。

全新研發(fā)的MSA-600-X/U型的測量帶寬更是高達(dá)2.5GHz，尤其適用于高頻MEMS諧振器、微聲器件如SAW、BAW等振動(dòng)測試。

MSA-600-S可用于結(jié)構(gòu)振動(dòng)測試和表面形貌測試，可測試高頻設(shè)備，如FBAR(薄膜體聲諧振器)，以及其它GHz諧振器和設(shè)備。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

• 專用于顯微結(jié)構(gòu)的一體化光學(xué)測量工作站

• 真正的實(shí)時(shí)測量（無需數(shù)據(jù)后處理）

• MSA-600-M/V 型測試頻率高達(dá)25 MHz

• MSA-600-X/U 型測試頻率高達(dá)2.5 GHz

• 新的 MSA-600-S 型測試頻率高達(dá)6 GHz

• 亞pm級(jí)的位移分辨率

• 快速測量，振型可視化

• 操作簡便、直觀

• 自動(dòng)化測試系統(tǒng)，易于集成至探針臺(tái)

• 用于FE模型驗(yàn)證的導(dǎo)入/導(dǎo)出功能（選配）

產(chǎn)品應(yīng)用：

主要應(yīng)用于生物學(xué)和醫(yī)學(xué)、微納米技術(shù)，可以非接觸式測量生物醫(yī)學(xué)樣品、電子元件和微結(jié)構(gòu)如MEMS等精密結(jié)構(gòu)的振動(dòng)、聲學(xué)和動(dòng)力學(xué)特性。

MPI M1半自動(dòng)探針臺(tái)

產(chǎn)品介紹：

MPI的M1/ 8寸半自動(dòng)探針臺(tái)是具有創(chuàng)新功能的200mm自動(dòng)化晶圓測試系統(tǒng)，具備較高性價(jià)比，可滿足客戶多種測試需求。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、具備高性能微屏蔽暗箱

可為低噪聲，低電容測量提供出色的不透光的屏蔽測試環(huán)境

2、ERS獨(dú)特的 AC3冷卻技術(shù)

MPI旗下全系列探針臺(tái)系統(tǒng)均采用ERS的AC3冷卻技術(shù)和自我管理系統(tǒng)，可使用回收的冷卻空氣吹掃platen，可大幅減少30%至50%的空氣消耗

3、具備可滿足于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測試通訊協(xié)議接口

4、配備一體式減震氣囊

5、支持飛安級(jí)低漏電值量測

6、支持溫度范圍 20 °C 至 300 °C

7、系統(tǒng)支持多顯微鏡升級(jí)及移動(dòng)切換等功能

產(chǎn)品應(yīng)用：

1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 67 GHz 及以上

3、失效分析 - 探針卡 / 節(jié)間探測 / inker 打墨

4、可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時(shí)間測試

5、高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

YB-LPS-200-P600低溫探針臺(tái)

產(chǎn)品介紹：

YB-LPS-200-P600可對(duì)器件進(jìn)行非破壞性的測試，器件的尺寸可達(dá)到2in(最大可定制4in)。系統(tǒng)的探針、測試電纜、樣品架都有多種類型可供選擇，可滿足不同用戶的需要。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

● 測量DC到67GHz

● 控溫穩(wěn)定性：80-100K時(shí)，控溫精度±50mK；100-500K時(shí)，控溫精度±0.1K

● 最多可使用6個(gè)探針臂

● 測試樣品尺寸2in(最大可定制4in）

● 探針臂傳上可安裝溫度感器進(jìn)行溫度監(jiān)測

● 探針臂3軸方向可調(diào)節(jié)，并可進(jìn)行面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)

● 可提供不同的選件和附件來滿足特定的科研測試需要

● 電纜、屏蔽和Guard保護(hù)進(jìn)一步減少了電噪聲和熱輻射損失

● 系統(tǒng)使用液氮制冷，基本系統(tǒng)溫度范圍：80K -500k 

產(chǎn)品應(yīng)用：

YB-LPS-200-P600為材料或器件的電學(xué)特性測量、光電特性測量、參數(shù)測量、 high Z 測量、DC 測量、RF 測量和微波特性測量提供一個(gè)測試平臺(tái)。