產(chǎn)品介紹：

實(shí)物的振動(dòng)通常是三維振動(dòng)。雖然可選擇優(yōu)先顯示某特定方向的振動(dòng)，但由于存在產(chǎn)品公差和其它影響，在其它空間方向也存在運(yùn)動(dòng)分量。 

MSA-100-3D顯微式激光測振儀可在大帶寬范圍內(nèi)實(shí)時(shí)測量被測物體的動(dòng)態(tài)特性，分辨率高，同時(shí)記錄和分析XYZ三個(gè)方向的振動(dòng)分量，每向的振幅分辨率均達(dá)到亞皮米級(jí)。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

• 實(shí)時(shí)振動(dòng)測量，高達(dá) 25MHz 的大帶寬

• 用于面外和面內(nèi)振動(dòng)測量，振幅分辨率達(dá)亞皮米級(jí)

• 單點(diǎn)式和全場掃描式振動(dòng)測量

• 激光光斑小于 4μm，橫向分辨率極高

• 測試距離大，可達(dá)38mm

• 可與常見的MEMS商用探針測試臺(tái)兼容

產(chǎn)品應(yīng)用：

• 慣性傳感器，如加速度計(jì)和陀螺儀

• 微機(jī)電傳感器和致動(dòng)器 (MEMS) 

• 打印機(jī)噴墨頭

• 壓力傳感器薄膜

• 耳機(jī)、微型鏡頭等