產(chǎn)品介紹：

MPI TS200-SE適用于多種晶圓量測(cè)應(yīng)用，如組件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級(jí)可靠性 (WLR) 、失效分析 (FA)和1/f低噪聲測(cè)試。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1.MPI ShielDEnvironmentTM屏蔽環(huán)境

• 專為EMI/RFI/Light-Tight屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測(cè)環(huán)境

• 支援飛安級(jí)低漏電量量測(cè)

• 溫度量測(cè)范圍-60℃至300℃

2.具備氣浮式樣品臺(tái)，可快速移動(dòng)樣品到待測(cè)位置

• 快速移動(dòng)樣品臺(tái)的行程為：225*260mm（8.9*10.2in）

• 精調(diào)全部用的日本Mitutuyo三豐的千分尺，更穩(wěn)定更耐用，范圍為：25×25mm

• 樣品臺(tái)具備一鍵氣浮快速升降，行程為：20mm，搭配日本三豐精調(diào)千分尺，精調(diào)行程為：5mm

3.針座具備快速升降功能，可快速更換待測(cè)點(diǎn)

• 三檔式快速抬桿，3mm(架針)、300um(分離)0um (接觸)

• 搭配前級(jí)微小抬桿(150um、100um、50um高度可選)縮短抬升范圍

• 測(cè)試效率提升20倍

• 最大MicroPositioner承裁數(shù)量:8DCor4DC+2RFor2DC+4RF

• 在這種操作下，連續(xù)測(cè)試10個(gè)器件，S21參數(shù)重復(fù)誤差低于-60dB

• 具備抬升安全鎖

4.有著獨(dú)特的樣品臺(tái)設(shè)計(jì)

• 樣品臺(tái)具備更多的真空吸附口，樣品固定更穩(wěn)定，并且可以支持碎片/單顆器件/封裝器件等

• MPI TS200-SE具備模塊化升級(jí)RF、高功率等測(cè)試

5.MPI的針座以及線纜固定設(shè)計(jì)專門為高精度測(cè)試設(shè)計(jì)

• MPI所有針座采用昂貴的碳鋼材料，所以重量是FF的針座的2-3倍。磁吸附后更穩(wěn)定，更不容易因?yàn)檎饎?dòng)而位移或者因?yàn)闇夭疃冃?。測(cè)試重復(fù)性提高95%

• TS200-SE所有測(cè)試探針、線纜、樣品等全部密封在屏蔽室內(nèi)，提高測(cè)試精度