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交付案例

英鉑攜手Hanwa助力湘潭大學(xué)搭建晶圓級(jí)TLP&VF-TLP測試系統(tǒng)返回列表

裝機(jī)產(chǎn)品:YB800-A探針臺(tái)、Hanwa HED-T5000-HC 測試儀、Hanwa HED-T5000-VF 測試儀

Hanwa HED-T5000-HC測試儀

產(chǎn)品介紹:

Hanwa HED-T5000用于半導(dǎo)體元器件靜電保護(hù)電路抗靜電能力的測試,通過該測試可以清楚的了解到元器件的抗靜電能力的特性參數(shù),器件開發(fā)人員通過這些參數(shù)可以了解到元器件ESD設(shè)計(jì)窗口,從而對元器件保護(hù)電路作進(jìn)一步改進(jìn)。

該設(shè)備也可通過給GATE端加DC電源,測試功率器件的SOA特性曲線。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

1.性能穩(wěn)定,國內(nèi)大廠的選擇

2.搭配多個(gè)上升沿,滿足不同需求

3.支持SOA測試,可同時(shí)施加多個(gè)偏置電壓

4.測試軟件簡明直接,易操作易上手

5.硬件操作便捷,探頭易切換易點(diǎn)針

產(chǎn)品應(yīng)用:

1.ESD模型等效分析

2.SOA測試

3.瞬態(tài)波形分析

Hanwa HED-T5000-VF測試儀

產(chǎn)品介紹:

超快TLP(VF-TLP)測試儀用于測量集成電路中靜電放電(ESD)保護(hù)器件的特性。VF-TLP在CDM模擬等效中應(yīng)用較多,其中Hnawa的0.2ns上升沿可以為用戶提供超快的上升時(shí)間,即時(shí)了解到器件的響應(yīng)速度,搭配多個(gè)脈寬實(shí)現(xiàn)不同應(yīng)用,對于先進(jìn)半導(dǎo)體來說至關(guān)重要。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

1、強(qiáng)大的監(jiān)控功能支持

該測試儀具備全面且高效的監(jiān)控能力,可實(shí)時(shí)追蹤測試過程中的關(guān)鍵參數(shù)(如電壓、電流、脈沖波形、測試進(jìn)度等),確保測試流程穩(wěn)定可控。

2、特性數(shù)據(jù)差值顯示

能夠?qū)y試獲取的器件特性數(shù)據(jù)(例如不同批次芯片的 ESD 耐受電壓、不同測試環(huán)境下的電流 - 電壓參數(shù)等)進(jìn)行對比計(jì)算,并直觀顯示數(shù)據(jù)間的差值。

3、可連接晶圓 ESD 測試儀

具備與晶圓級(jí)靜電放電(ESD)測試儀的兼容連接能力,可實(shí)現(xiàn)設(shè)備間的數(shù)據(jù)交互與協(xié)同工作。

產(chǎn)品應(yīng)用:

適用于CDM等效,器件響應(yīng)速度測試,先進(jìn)半導(dǎo)體應(yīng)用。

YB800-A探針臺(tái)

產(chǎn)品介紹:

YB800-A是200mm手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng),可以提供準(zhǔn)確可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)測量。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

1、單機(jī)多應(yīng)用設(shè)計(jì)

•適用于多種晶圓/集成電路/功率器件/光學(xué)材料量測應(yīng)用,如射頻和 DC、IV/CV 測試晶圓級(jí)可靠性

2、具備工效學(xué)設(shè)計(jì)

•XY 軸微調(diào)設(shè)計(jì)/Y 軸快速導(dǎo)入導(dǎo)出/載物臺(tái)設(shè)計(jì)

•堅(jiān)固且可乘載多達(dá) 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作臺(tái)

•兩段式工作臺(tái)快升把手設(shè)計(jì),接觸(contact) - 分離(loading),實(shí)現(xiàn)高可靠性、高效率性

•具備英鉑科學(xué)儀器獨(dú)有專利技術(shù)的氣浮式移動(dòng)樣品臺(tái),搭配微調(diào)千分尺

3、彈性選配與升級(jí)性

•另有多種晶圓載物臺(tái)可做升級(jí),亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學(xué)顯微鏡、電磁屏蔽箱/防震系統(tǒng)可搭載,以完全支援您的應(yīng)用需求

4、高壓人機(jī)安全防護(hù)設(shè)計(jì)

•Platen 底部特征聚合物高壓防護(hù)設(shè)計(jì)

•Chuck 獨(dú)特安全隔離防護(hù)設(shè)計(jì)

•采用德國 PEEK 雙層高壓防護(hù)環(huán)套設(shè)計(jì)的針桿(標(biāo)準(zhǔn) SHV Coaxial 接口)通用keithley&keysight 高壓儀表

•紅外感測 interlock 安全互鎖機(jī)制

產(chǎn)品應(yīng)用:

該系統(tǒng)主要應(yīng)用于晶圓級(jí)高頻電學(xué)特性的測試,可升級(jí)最高頻可達(dá)110G測試,滿足于8寸及以下產(chǎn)品應(yīng)用。具備多模塊應(yīng)用升級(jí),如高溫,防震屏蔽,光學(xué)等。

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