產(chǎn)品概要：

MPI的TS200-HP手動(dòng)探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)可提供8英寸及以下晶圓器件的高功率測(cè)量，先進(jìn)的ShielDEnvironment™可提供低噪聲和屏蔽的測(cè)試環(huán)境。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1、適合至高 10kV / 600A (脈沖)的晶圓級(jí)高功率組件量測(cè)，

2、氣浮式樣品移動(dòng)系統(tǒng)

MPI獨(dú)特的氣墊載物臺(tái)設(shè)計(jì)，具有簡(jiǎn)單的單手冰球控制，為操作人員提供了很強(qiáng)的便利性，可實(shí)現(xiàn)快速XY導(dǎo)航和快速晶圓裝載，同時(shí)又不影響精確的定位功能。

3、高度調(diào)整比例

· 針座平臺(tái)具備3檔抬升調(diào)節(jié)，行程范圍：0-300um-3mm，并搭配精準(zhǔn)細(xì)調(diào)行程

· 探針座臺(tái)面具有25毫米的精細(xì)高度調(diào)節(jié)，支持各種應(yīng)用，獨(dú)特的1mm精確刻度可準(zhǔn)確指示當(dāng)前位置。50um-100um-150um，并支持鎖定。

4、多種卡盤選項(xiàng)

晶圓載物臺(tái)表面鍍金，接觸電阻面積小;真空吸孔優(yōu)化，適合裝載至薄 50 µm 的薄晶圓，可提供-60-300度溫度可選，以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用需求。 

5、多種光學(xué)系統(tǒng)選擇

提供多種光學(xué)顯微鏡選擇，從單筒到金相，已滿足不同倍數(shù)要求。

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境，

專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測(cè)環(huán)境，具備fA級(jí)測(cè)量環(huán)境，適配interlock安全防護(hù)可與測(cè)試機(jī)進(jìn)行聯(lián)動(dòng)防護(hù)安全

7、具備接觸LED點(diǎn)針鎖止功能

8、提供抗電弧解決方案

9、機(jī)型可兼容升級(jí)與DC-220G毫米波級(jí)測(cè)試需求

并適配多品牌擴(kuò)頻模塊的搭載，擁有最短與樣品接觸距離

產(chǎn)品應(yīng)用：

適用于多種晶圓量測(cè)應(yīng)用，如組件特性描述和建模，晶圓級(jí)可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 和高功率 (HP)。