產(chǎn)品介紹：

YB-EMMI-200-DSP是200mm手動(dòng)雙面探針失效分析系統(tǒng)，可以提供準(zhǔn)確可靠的DC/CV, RF/高功率(3000V 30A)測(cè)量。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1、單機(jī)多應(yīng)用設(shè)計(jì)

•適用于多種晶圓/集成電路/功率器件/光學(xué)材料量測(cè)應(yīng)用，如射頻和DC、IV/CV測(cè)試晶圓級(jí)及器件的失效分析測(cè)試

2、工效學(xué)設(shè)計(jì)

•XY軸微調(diào)設(shè)計(jì)/Y軸快速導(dǎo)入導(dǎo)出/載物臺(tái)設(shè)計(jì)

•堅(jiān)固且可乘載正面多達(dá)10支DC和最大6支背面DC微定位器的工作臺(tái)

•具備英鉑科學(xué)儀器獨(dú)有專利技術(shù)的氣浮式移動(dòng)樣品臺(tái)，搭配微調(diào)千分尺

• 且提供背面影像光學(xué)系統(tǒng)，提供雙面扎針操作

• 針座平臺(tái)具備＞15mm的微調(diào)操作

3、彈性選配與升級(jí)性

•另有多種晶圓載物臺(tái)可做升級(jí)，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學(xué)顯微鏡、電磁屏蔽箱/防震系統(tǒng)可搭載，以完全支援您的應(yīng)用需求，以完全支援您的應(yīng)用需求

4、高壓升級(jí)人機(jī)安全防護(hù)設(shè)計(jì)

•Platen 底部特征聚合物高壓防護(hù)設(shè)計(jì)

•Chuck 獨(dú)特安全隔離防護(hù)設(shè)計(jì)

•采用德國(guó)PEEK雙層高壓防護(hù)環(huán)套設(shè)計(jì)的針桿（標(biāo)準(zhǔn)SHV Coaxial接口）通用

•keithley&keysight高壓儀表

•可升級(jí)紅外感測(cè)interlock安全互鎖機(jī)

產(chǎn)品應(yīng)用：

該系統(tǒng)主要應(yīng)用于晶圓級(jí)或器件高壓電學(xué)特性失效分析的測(cè)試，可升級(jí)最壓可達(dá)3KV測(cè)試，滿足于8寸及以下產(chǎn)品應(yīng)用。具備多模塊應(yīng)用升級(jí)，如防震屏蔽，光學(xué)等。