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交付案例

英鉑&MPI助復旦大學研究院搭建12寸全自動晶圓級測試系統(tǒng)返回列表

裝機產(chǎn)品:MPI TS3500-SE 全自動探針臺

產(chǎn)品介紹:

MPI的TS3500-SE是全自動300mm探針臺測試系統(tǒng),搭配獨特的EMI屏蔽腔體,可做高低溫測試,專門為產(chǎn)品工程,故障分析,設(shè)計驗證,晶圓級可靠性以及RF和mmW應(yīng)用而設(shè)計。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

 

 

1、模塊量測-DC-IV/DC-CV/Pulsed-IV/RF/HP/1/f Noise

 

2、溫度范圍-60°C至300°C可選

3、較強的靈活性,兼容探針座和探卡夾具測試

4、具備業(yè)內(nèi)EMI光電磁屏蔽腔體結(jié)構(gòu),靈活應(yīng)對測試應(yīng)用

5、具有特定設(shè)計的電纜接口的與功能測試儀的較小電纜距離,可實現(xiàn)更好的測量方向性

6、較小的卡盤到工作臺面高度可實現(xiàn)不錯的內(nèi)部節(jié)點探測

7、系統(tǒng)具備獨特晶圓cassette裝載盒,可選配25片cassette或5片不同尺寸wafer自動裝載

8、通過在內(nèi)部集成熱系統(tǒng)的冷卻器,將系統(tǒng)占地面積降至較低

9、或支持升級裝載端口300毫米與自動開門器

10、支持晶圓尺寸300毫米FOUP卡帶,200毫米與插入

產(chǎn)品應(yīng)用:

專門為產(chǎn)品工程,故障分析,設(shè)計驗證,晶圓級可靠性以及RF和mmW應(yīng)用而設(shè)計。

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